长度测量工具：平晶
本文章由镜面工具整理发布，如果你感觉本文章好请转载一下 ，顺便告诉你的朋友！感觉你对本公司的支持，镜面工具-专业的镜面工具生成厂家。
具有两个(或一个)光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面?它能够?生光波干涉条纹(见激光测长技术)。平晶有平面平晶和平行平晶两种。平面平晶用於测量高光洁表面的平面度误差?图1a 平晶检验 平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的?故其测量方法称为平晶干涉法(图2 平晶干涉法 ) ?也称技术光波干涉法。测量时?把平晶放在被测表面上?且与被测表面形成一个很小的楔角 ?以单色光源照射时会?生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直於被测表面?且平晶与被测表面间的间隙很小?则由平晶测量面P 反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P 发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下?则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直?相互平行?且分布均匀?则表示被测表面的平面度很好?如干涉条纹弯曲?则表示平面度不好。其误差值为?式中为两干涉条纹间距离?为干涉条纹的弯曲值?为光波波长?白光波长一般以0.6微米计算。
